[00130350]光纤微电子机械系统压力传感器及其复用结构

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200410065873.7

交易方式： 完全转让许可转让技术入股完全转让完全转让

联系人：南京师范大学

所在地：江苏南京市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明主要用于绝对、相对压力的测量，所述传感器中端面抛光的光纤（13）的抛光端面与硼硅玻璃衬底（12）相接，其连接表的外端由光固化环氧树脂（16）连接；在硼硅玻璃衬底上为单晶硅膜（14），在单晶硅膜中央的下部与硼硅玻璃衬底之间设有一个空腔即：法布里—珀罗腔（15）。其复用结构宽带光源（1）和可调谐滤波器控制器（4）与可调谐滤波器（2）相接，阵列波导光栅的输出端通过光纤适配器（5）、光单向隔离器（7）、光纤耦合器（6）分别接光电探测器、传感器，通过检测传感器的法布里—珀罗腔的腔长的变化测量单晶硅膜受到的压力大小。

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