[00111182]微波等离子体处理装置、电介质窗制造方法

交易价格： 面议

类型： 专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200710163060.5

交易方式： 完全转让

联系人：东北大学

所在地：辽宁沈阳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　本发明提供一种抑制气体的流速的微波等离子体处理装置。微波等离子体处理装置(100)具有:通过缝隙天线(30)透过微波的由多个电介质零件(310)构成的电介质窗;固定在梁(26)下面的多个气体喷嘴(27);供给规定的气体的气体供给部;用透过电介质窗的微波使规定的气体成为等离子体,对被处理体进行处理的处理室(U)。各电介质零件(31)具有:具有第一气孔率的第一多孔材料(31PH);和连接于第一多孔材料(31PH)并且具有小于第一气孔率的第二气孔率的第二多孔材料(31P1)。气体供给部通过第一多孔材料(31PH),从第二多孔材料(31P1)将氩气导入处理室内(U),并从气体喷嘴(27)将硅烷气体导入处理室内(U)。

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