[00111173]等离子体处理装置及其运转处理方法和电子装置制造方法

交易价格： 面议

类型： 专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200710192987.1

交易方式： 完全转让

联系人：东北大学

所在地：辽宁沈阳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　本发明提供一种利用不需要远距离腔室和专用微波源等的简单结构就能够清洁处理室内的淀积物的技术。本发明的等离子体处理装置,利用在波导管中传播的、并向在处理室内面上配置的电介质传播的微波,使提供到处理室内的规定气体等离子体化,从而对在处理室内配置的被处理体实施等离子体处理,其中在波导管内,形成至少一部分由通过电介质材料构成的分隔壁包围的空间部,设置通过此空间部,向处理室中提供清洁气体的清洁气体流路。

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