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[00110786]曝光装置

交易价格： 面议

类型： 专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：200580019656.7

交易方式： 完全转让

联系人： 东北大学

所在地：辽宁沈阳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

　　本发明提供一种对扭转振动的阻力及共振频率高的架构件。能够得到架构件及包括该架构件的曝光装置,所述架构件具有蜂窝结构体,所述蜂窝结构体具备方形柱状的空隙部,且配置为构成该空隙部的壁与扭转变形的方向垂直。架构件的蜂窝结构体优选由陶瓷构成。

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