技术简介： 本发明公开了一种超强韧碳基表面防护涂层，该涂层是由碳元素、碳化物形成金属元素、弱碳化物形成金属元素组成，涂层中，碳元素以无定形形式存在，形成碳无定形网络，碳化物形成金属元素与碳结合…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种具有纳米层状结构的二硼化钛/钨涂层及其制备方法，所述TiB2/W涂层是以TiB2陶瓷靶和喷涂W靶为原料，通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成由TiB2陶瓷层与金属W层相互叠加的…… 查看详细 >
技术简介： 本发明涉及薄膜材料技术领域，尤其涉及一种高功率脉冲等离子体增强复合磁控溅射沉积装置，包括真空室、磁控靶、工件架和旋转支座，磁控靶包括高功率脉冲磁控溅射靶和脉冲直流磁控靶，固定在真空…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种多层纳米复合刀具涂层及其制备方法，在刀具基体表面采用物理气相沉积技术先涂覆一层氮化钛过渡层，然后再交替周期性涂镀多层铝钛硅氮化物涂层和铝铬氮涂层；其中氮化钛过渡层的…… 查看详细 >
技术简介： 本发明涉及薄膜材料技术领域，尤其涉及一种用于刀具涂层沉积的多功能全自动离子镀膜机，包括真空室、双极脉冲磁控溅射靶、矩形的阳极层气体离子源、高功率脉冲磁控溅射源、偏压电源、阴极电弧源…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种纳米复合钛铬硅氮化物刀具涂层及其制备方法，刀具基体为WC/Co硬质合金，涂层包含有过渡层的钛铬硅氮化物涂层，其中含有钛，铬，硅，氮元素，晶粒大小在5～15nm，涂层厚度1～4μ…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种纳米复合钛铬铝硅氮化物刀具涂层及其制备方法，刀具基体为WC/Co硬质合金，涂层包含有过渡层的纳米复合钛铬铝硅氮化物涂层，其中含有钛、铬、铝、硅和氮元素，晶粒大小在5～15nm…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种高温低摩擦CrAlSiON纳米复合涂层，由CrN过渡层和CrAlSiON功能层组成，采用多弧离子镀技术，通过改变工艺参数来获取不同成分的涂层。本发明将氧元素引入至CrAlSiON纳米复合涂层…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供了一种n型CuO薄膜的制备方法，包括S)将铜靶材在工作气体与反应气体的环境中进行磁控溅射，在衬底上沉积得到n型CuO薄膜；所述反应磁控溅射的溅射功率为40～60W。与现有技术相比，本发…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开一种自组装纳米氧氮化物涂层的制备方法，采用传统PVD技术制备，根据靶材不同距离范围内等离子体能量和密度分布不同的现象，通过调整样品转架自转及公转速度，改变样品在不同等离子体…… 查看详细 >
一种周期性多层结构的二硼化钛‑二硼化锆涂层及其制备方法和应用
技术简介： 本发明属于表面防护技术及相关涂层技术领域，公开了一种周期性多层结构的二硼化钛‑二硼化锆涂层及其制备方法和应用。该涂层是以二硼化钛陶瓷靶和二硼化锆陶瓷靶为原料，通过多靶磁控溅射在基体…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种纳米复合硬质涂层及其制备方法，是采用电弧离子镀和磁控溅射技术复合制备，通过周期性调节工艺参数，使电弧离子镀层即高应力层和磁控溅射层即低应力层分别交替循环沉积，从而有…… 查看详细 >
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