钽电解电容器电极箔的电化学湿法刻蚀技术

所属分类：清洁能源产业

所属单位：江苏师范大学

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成果简介

以高纯钽箔为原材料，利用电化学湿法刻蚀技术实现了对钽箔的刻蚀加工，制备出了具有三维纳米多孔结构的钽电极箔。该电极箔与传统烧结钽块电极相比具有更高的体积电容密度、更低的厚度和更加经济的制造成本。建立了基于计算和仿真的钽箔选型与刻蚀剂选取准则并进行了验证，提出了具有良好可重复性的脉冲方波湿法刻蚀技术，攻克了钽金属难以利用电化学刻蚀进行加工的难题，优化了基于刻蚀钽电极箔的阳极氧化工艺，制备的超薄片式钽电解电容器总厚度不超过100μm，表现出远优于传统钽电容器的综合电气性能，有望大幅拓展钽电解电容器的应用场景，从而创造显著的社会经济效益。

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