透明导电薄膜制备技术

所属分类：清洁能源产业

所属单位：南京航空航天大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高(T>80%)、电阻率低(p10Q·cm)的薄膜，在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。传统的透明导电薄膜是指氧化铟锡(俗称ITO)，ITO 中其透过率和电阻率分别由SnO,与In,O,之比来控制，一般 SnO,;ln,O,=1:9。由于铟是一种稀缺金属，近年来人们一直在探索其他的替代材料。Zn 是地壳中蕴藏量较丰富的一种元素，本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜，对可见光平均透过率大于90%，电阻率低于510^Q·cm，具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。

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