本实用新型提供了一种钙钛矿太阳能电池制备用真空冷干装置,该装置主要包括:冷却装置、干燥箱、手套箱;空气通过气泵抽送进入到冷却装置,冷却后的空气通过管路输送到干燥箱,干燥后的冷空气通过管路输送入手套箱内;手套箱内设有加热板,钙钛矿薄膜(含有机‑无机杂化钙钛矿薄膜和无机钙钛矿薄膜)的退火处理在手套箱中进行;为了实现较好的薄膜结晶质量,防止钙钛矿薄膜被水分解和快速氧化,钙钛矿薄膜需要在无水少氧的氛围内退火(100‑150℃),经过装置一系列处理去除空气中90%以上的水分,手套箱内装有可更换的纳米Fe粉,以降低手套箱内空气中的氧气含量,为钙钛矿薄膜退火热处理提供无水少氧的气体氛围。