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本公司采用硅氢氯化法生产多晶硅原料三氯氢硅产品,同时副产大量的低价值四氯化硅,希望在不改变目前工艺路线和设备的基础上,采用新的技术可以降低反应温度,减缓设备腐蚀,同时将三氯氢硅的收率提高5%以上,使得经济效益有明显提升。
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