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单晶拉制过程抑制气泡的技术研究

截止时间：2020-12-31 发布时间：2020-03-29 投入预算：50 万元 联系人：孙婧楠 宁夏回族自治区银川市

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需求简介

目前直拉单晶石英坩埚原材料是石英砂，选用高纯原料，但是石英砂中还是含有微量的金属和羟基，在高温下会诱导石英坩埚气泡扩散形成方石英（杂质），进一步造成拉晶断棱，影响单晶硅生产效率。我们希望有技术能抑制气泡的生长，或者可以抑制气泡扩散到熔硅内。

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