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[00008488]高性能纳米粒子抛光液

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 完全转让

联系人: 上海大学

所在地:上海上海市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

技术投资分析: 化学机械抛光技术(CMP)是迄今唯一的可以达到全局平面化的超精加工技术,抛光液是CMP技术的关键要素。纳米粒子CMP抛光液由纳米粒子(如氧化硅、氧化铈等)、化学腐蚀剂、其他功能性助剂及溶剂组成。可广泛用于计算机硬盘、超大规模集成电路晶片、光学玻璃、光盘、晶体、微机电系统等表面的纳米级及亚纳米级抛光。目前,在计算机硬盘基片的抛光中可以达到表面粗糙度(Ra)小于0.5,居国际先进水平。 主要特点技术性能: 外观:白色或淡黄色分散液 粒径:10-3000纳米 固含量:20-30% PH值:1-6;8-11 技术的应用领域前景分析: 可广泛用于计算机硬盘、超大规模集成电路晶片、光学玻璃、光盘、晶体、微机电系统等表面的超精密(纳米级及亚纳米级)抛光。 效益分析: 可以实现表面的超精抛光,特征是达到纳米级或亚纳米级的表面粗糙度和波纹度,该指标是目前对表面质量的最高要求。 该技术属IT产品制造中的高、新技术产品,市场前景好。 厂房条件建议: 无 备注: 无

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