交易价格： 10 万元
类型： 专利
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专利号：CN201621190924.3
交易方式： 完全转让
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一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置
| 专利（申请号）： CN201621190924.3 | 申请人： 中北大学 | IPC分类号： G01B11/02(2006.01)I |
| 专利类型: 实用新型 | 公开号： CN206440239U | 保护年限： 4 |
| 代理机构： 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： 杨乐 | 公开日： 2017.08.25 |
| 发明设计人： 李孟委;王宾 | ||
本实用新型涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本实用新型与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过采用拼接的纳米光栅阵列，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。
一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，其特征在于，所述微位移检测装置包括：将物理位移信号转化为电信号的位移传感模块；将电信号转化为可读信号的处理单元；将可读信号进行显示的显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括一能相对移动的双层纳米光栅，所述双层纳米光栅包括接收物理位移信号的可动纳米光栅阵列、及固定纳米光栅。
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