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[00334889]涂层复合沉积系统

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 资料待完善

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服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  目前,我国工模具等工业化高端涂层设备主要掌握在瑞士、日本、美国等发达国家手中。本技术是建立在我国的全方位离子注入基础上发展起来的具有自主知识产权的成果。涂层复合沉积系统由矩形弧源、磁控溅射元、弯曲电弧磁过滤电弧源、全方位离子注入工件架等部分组成,主要应用在薄膜制备、超硬涂层、润滑涂层、光学涂层等方面,对比试验表明,该技术达到了国际先进水平,具有良好的市场应用前景。 沉积超硬涂层可以但不限于沉积TiN、TiAlN、TiSiN、TiAlSiN等涂层,也可以用于沉积类金刚石涂层。在高速钢上面沉积的TiN涂层结合力超过100N,真空度优于8x10-4Pa。

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