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[00334850]硅微谐振式压力传感器

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 资料待完善

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产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

  本硅微谐振式压力传感器采用自主设计的膜片——谐振梁式复合敏感结构、自主探索的工艺流程和自主研发的信号处理技术,具有优良的稳定性和灵敏度,且敏感结构比国外同类产品简单,适合国内工艺水平现状。 该传感器用于大气压力测量或液体压力测量,在气象、航空、石油、化工、电力等领域应用前景广阔。目前,该技术已达到小批量样机生产的实用要求。

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