交易价格: 面议
类型: 非专利
交易方式: 完全转让
联系人: 天津科技大学
所在地:天津天津市
超大功率微波等离子体设备是制造大面积高质量CVD金刚石膜的关键,目前国外对国内是禁运的。为了提高国防科技水平,作为高端的新材料代表:CVD金刚石膜,在军事,高端科技应用领域有着广泛的应用前景。本项目通过多年的研发,目前能生产出最大微波功率可达75KW的大功率微波CVD金刚石膜沉积系统(915MHz),最大可升级到100KW,可以制备直径超过120-140毫米,厚度超过2.5毫米的高质量光学级金刚石厚膜。在光学应用,散热领域有着广泛的应用前景。 超大功率MPCVD沉积金刚石膜系统,国内目前还没有能超过45KW的最大微波功 率设备提供。本项目填补了国内的空白,打破了国外在该领域的技术垄断。可以规 模化批量生产该型设备。在大尺寸光学级金刚石膜窗口及批量生产CVD单晶金刚石 方面有着巨大的应用前景。
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