[00330638]直拉硅单晶的掺杂装置及方法
交易价格:
面议
类型:
非专利
技术成熟度:
可以量产
交易方式:
许可转让
联系人:
熊欢
所在地:宁夏银川市西夏区
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
项目可以有效地调节内胆本体的压力,避免冒泡现象的产生,减少掺杂剂的挥发,使得气化掺杂剂充分融入硅熔液中进行掺杂,提高掺杂率,减少炉内污染装置的掺杂方法减少了掺杂剂的挥发,有效的提高了磷,砷的掺杂效率,使得磷的掺杂效率在93以上,砷的掺杂效率在90以上,并且减少了高纯元素的使用量,减少了环境污染