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[00330637]直拉硅单晶的掺杂装置及方法

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 可以量产

交易方式: 许可转让

联系人: 熊欢

所在地:宁夏银川市西夏区

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

项目可以有效地调节内胆本体的压力,避免冒泡现象的产生,减少掺杂剂的挥发,使得气化掺杂剂充分融入硅熔液中进行掺杂,提高掺杂率,减少炉内污染装置的掺杂方法减少了掺杂剂的挥发,有效的提高了磷,砷的掺杂效率,使得磷的掺杂效率在93以上,砷的掺杂效率在90以上,并且减少了高纯元素的使用量,减少了环境污染

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