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[00330635]低电阻率重掺砷硅单晶的生产方法及生产系统

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 可以量产

交易方式: 许可转让

联系人: 熊欢

所在地:宁夏银川市西夏区

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

项目通过调整低电阻率重掺砷硅单晶晶棒生产过程中,等径尾部及收尾端部的单晶生长速率、补偿温度、氩气流量,改善低电阻率重掺砷硅单晶的生产工艺,采用调整后的低电阻率重掺砷硅单晶的生产方法得到的重掺砷单晶硅晶棒,不仅电阻率能够满足要求,且晶棒尾部的晶变概率大幅度降低,晶棒尾部的晶变概率由改善前的45%降低至5%以下,提高晶棒合格率,减少原料浪费,降低生产成本

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