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[00330633]能够降低头部电阻率的重掺As硅单晶生产方法

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 可以量产

交易方式: 许可转让

联系人: 熊欢

所在地:宁夏银川市西夏区

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

项目通过调整等径前工序、一段等径工序、二段等径工序及收尾工序的单晶炉炉压,并提高工艺过程中的氩气流量,显著降低所制备的重掺As硅单晶的电阻率,尤其是将重掺As硅单晶晶棒的头部电阻率降低至00029Ωcm以下,提高重掺As硅单晶晶棒的综合利用率,降低生产成本同时,电阻率降低的同时,重掺As硅单晶晶棒拉制过程中,发生晶变导致NG的概率显著下降,进一步提高重掺As硅单晶晶棒的合格率,降低生产成本

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