[00330633]能够降低头部电阻率的重掺As硅单晶生产方法
交易价格:
面议
类型:
非专利
技术成熟度:
可以量产
交易方式:
许可转让
联系人:
熊欢
所在地:宁夏银川市西夏区
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
项目通过调整等径前工序、一段等径工序、二段等径工序及收尾工序的单晶炉炉压,并提高工艺过程中的氩气流量,显著降低所制备的重掺As硅单晶的电阻率,尤其是将重掺As硅单晶晶棒的头部电阻率降低至00029Ωcm以下,提高重掺As硅单晶晶棒的综合利用率,降低生产成本同时,电阻率降低的同时,重掺As硅单晶晶棒拉制过程中,发生晶变导致NG的概率显著下降,进一步提高重掺As硅单晶晶棒的合格率,降低生产成本