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[00330632]石英坩埚制备装置及降低石英坩埚中脱羟的方法

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 可以量产

交易方式: 许可转让

联系人: 熊欢

所在地:宁夏银川市西夏区

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

项目适宜于石英坩埚玻璃化之后直接脱羟,能一步实现石英坩埚的成型、脱羟,省去了专门的脱羟设备,密封壳体和水冷模具各自设置独立真空,能有效满足脱羟工艺过程控制要求,石英坩埚的羟基含量可以降低到20~30ppm,提高了石英坩埚的黏度,抑制石英坩埚在拉晶过程中的气泡膨胀降低坩埚的变形概率,提高了单晶晶棒的品质

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