[00330631]石英坩埚制备装置及降低石英坩埚中脱羟的方法
交易价格:
面议
类型:
非专利
技术成熟度:
可以量产
交易方式:
许可转让
联系人:
熊欢
所在地:宁夏银川市西夏区
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
项目适宜于石英坩埚玻璃化之后直接脱羟,能一步实现石英坩埚的成型、脱羟,省去了专门的脱羟设备,密封壳体和水冷模具各自设置独立真空,能有效满足脱羟工艺过程控制要求,石英坩埚的羟基含量可以降低到20~30ppm,提高了石英坩埚的黏度,抑制石英坩埚在拉晶过程中的气泡膨胀降低坩埚的变形概率,提高了单晶晶棒的品质