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[00328870]一种中空微通道结构的制备方法

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 资料待完善

联系人:

所在地:山东烟台市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明公开了一种中空微通道结构的制备方法,具体涉及微细加工领域。该方法采用光刻技术和热回流技术制作微米尺寸的微通道母版,并利用此母版制作 PDMS 柔性模板,获得的柔性模板具有与微通道母版互补的图案结构,将 PDMS 柔性模板紧密粘附在基片表面形成微通道空腔,并在一侧滴注 S1813 光刻胶,光刻胶在毛细力的作用下填充微通道空腔,填充较长时间后进行加热,微腔内的光刻胶发生回流,而与微腔内壁相接触的光刻胶将附着在内壁上,冷却固化并揭掉 PDMS 柔性模板后,就在基片表面上得到了中空微通道结构。本发明与其他制备中空微通道的方法相比,具有成本低廉,工艺简单等优点,适用于微细加工、微流控芯片、生物医药等应用领域。

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