交易价格： 面议
类型： 非专利
技术成熟度： 可以量产
交易方式：
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所在地：山东烟台市
纳米级三维激光直写设备，能同时兼顾高精度和高自由度，实现在纳米级精度上三维结构的自由设计，具有高速度、超分辨、大范围、无限视场等技术优势。主要技术参数：加工线宽（nm）：>60;单结构成型尺寸（μm）：<300*300*300；加工幅面（mm）：<150*150；加工高度（mm）：<2.5；重复定位精度（μm）：>0.001；线性速度（mm/s）：<30；设备额定功率（kW）：1.2；表面平滑度 Ra（nm）：<1；扩展特性：2.5 维衍射光学元件高速算法加工、平面图案一次成型、自动对焦、独立二十五光路同时加工、大幅面自动成像、10 轴飞行联动。
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