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[00328713]光学元件缺陷检测技术及其产业化

交易价格: 面议

类型: 非专利

交易方式:

联系人:

所在地:浙江杭州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  项目概述:

  在光学元件的接触式加工过程中,受人为、器具等外部环境的限制,元件表面/亚表面会在受力不均的情况下产生麻点、划痕、微裂纹等缺陷,同时加工过程中也会不可避免地引入金属、氧化物等污染颗粒。在高功率激光装置、激光武器、空间望远镜等光学系统中,光学元件的缺陷会制约系统激光通量的提升,影响系统的光束传输质量、长期稳定性和使用寿命。

  浙大刘东教授团队成功攻克光学元件表面/亚表面/体缺陷的高效率、高灵敏度检测技术难题,基于光致发光缺陷检测原理,融合宽场散射成像、宽场荧光成像、激光扫描共聚焦成像等多模态检测方法,实现各类缺陷的快速检测和准确识别。相关研究成果发表于PhotoniX等光学领域顶尖期刊,申请/授权国家发明专利20余项,研制的十余套原理/工程样机成功应用于国家"神光III"系统,助力我国国防事业建设。

  光学元件缺陷检测系列装备

  应用范围:

   光学玻璃、电子显示屏、集成电路等元器件的缺陷检测,工业产品的表面质量在线检测。

  技术优势:

  1. 基于子孔径扫描及拼接技术、自动化调平对焦技术、高效图像处理及信息提取技术等,实现缺陷检测的高效率、自动化和数字化;

  2. 同时满足"宏观大口径"和"微观高分辨",实现米级口径元件的亚微米级缺陷检测分辨率;

  3. 采用环形光源照明,极大降低缺陷漏检率;

  4. 支持输出缺陷的尺寸、数量及二维分布等信息;

  5. 实现元件表面缺陷与亚表面缺陷,表面灰尘与麻点的精确区分。

  知识产权情况:

  1. 发明专利,一种大口径光学元件分区域扫描拼接方法,ZL202010127934.7

  2. 发明专利,一种大口径平面光学元件自动调平方法,ZL202010133578.X

  3. 发明专利,一种大口径球面光学元件球心和曲率半径测量方法,ZL202010127956.3

  4. 发明专利,一种球面或旋转对称非球面光学元件自动定心方法,ZL202010127959.7

  5. 发明专利,一种光学元件激光诱导损伤在线检测装置和检测方法,ZL202011156466.2

  6. 发明专利,一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置,ZL202110219465.6

  合作方式:

   产学研合作

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