[00326359]电子级多晶硅成套制备技术的研发及产业化
交易价格：
面议
类型：
非专利
交易方式：
资料待完善
联系人：
斑玛东周
所在地：青海西宁市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
该成果围绕微电子单晶用多晶硅产品制备和产业化应用，自主研发了副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术，建立了高于SEMI标准的检测实验室，形成了一套完备的电子级多晶硅检测方法和质量控制指标体系形成了完整的技术体系并实现了电子级多晶硅产品的规模化生产质量完全满足分立器件研磨片、3-6英寸抛光片、8英寸、12英寸外延片和抛光片的制造要求，项目产品质量指标已与国外龙头企业相当，达到国际先进水平，完全可替代进口，加快了我国6-8英寸、8-12英寸硅片和集成电路用高纯硅材料产业化的进程，保障了我国集成电路产业的战略安全
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