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[00324772]一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器

交易价格: 面议

类型: 发明专利

专利所属地:中国

专利号:CN103921171A

交易方式: 资料待完善

联系人: 西安交通大学

所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器,传感器为一个整体结构零件,传感器采用支撑梁加变形梁的复合结构设计,传感器包括载物平台、竖直变形梁、水平变形梁、固定底座四部分,载物平台通过竖直变形梁和水平变形梁连接在固定底座上,竖直变形梁共四个,水平变形梁共四组,在竖直变形梁竖直贴装第一压阻式MEMS硅微力敏芯片,在水平变形梁水平贴装第二压阻式MEMS硅微力敏芯片,本发明可以实现对铣台所受包括水平X、Y向,竖直Z向三向力的测量以及主轴扭矩的检测,不仅可以测量动态力,也适用于静态力的测量,在使用和维护方面更加简单可靠,降低成本。

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