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[00323901]一种蚀刻液及其制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201310100019.9

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 厦门立德软件公司

所在地:浙江

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开一种对工件进行化学蚀刻加工中所用的蚀刻液,所述蚀刻液包括以下重量百分比的组分:三氯化铁20~50%、硝酸10~15%、氯化钠5~10%,余量为水。本发明所公开的蚀刻液,能够将所蚀刻金属成分中呈离子状态易结合生成难溶物质的镍、硅等离子转化生成可溶性盐,增强蚀刻液对金属的蚀刻能力,提高了反应速率,同时,可在工件表面掩膜覆盖部分自下而上发生侧蚀,侧蚀速率平稳,易于控制,被蚀刻加工的工件表面凹坑处易形成平滑过渡、截面形状近似正弦曲线的波谷,无明显棱边,具有较好的侧蚀效果。另外,本发明还公开了所述蚀刻液的制备方法,简便易于操作。

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