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[00317080]一种具有P埋层的横向沟道SOI LIGBT器件单元

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201110056340.2

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 杭州电子科技大学

所在地:浙江杭州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

摘要:本发明涉及一种具有P埋层的横向沟道SOILIGBT器件单元。现有产品限制了器件结构与电学特性的改善。本发明顺序包括p型半导体衬底、隐埋氧化层、p埋层区、n型轻掺杂漂移区;n型轻掺杂漂移区顶部两侧嵌入第一p型阱区和n型缓冲区,第一p型阱区的顶部嵌入n型阴极区和第一p阱欧姆接触区,n型缓冲区的顶部嵌入第二p型阱区和阳极短路点区,第二p型阱区的顶部嵌入第二p阱欧姆接触区;器件单元顶部设置有阴极金属电极和阳极金属电极,n型阴极区的顶部设置有第一场氧化层,n型轻掺杂漂移区的顶部设置有第二场氧化层。本发明提高了器件的纵向耐压,改善了器件的纵向击穿特性,使器件能够适应更高压,更大电流的工作条件,并改善器件的热特性。

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