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[00314615]晶硅片切割刃料碳化硅生产及废砂浆再生关键技术研究与产业化

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 已有样品

交易方式: 完全转让

联系人: 国网大武口公司

所在地:宁夏回族自治区石嘴山市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

在半导体用硅片和太阳能电池用硅片的制造过程中,国内晶硅片切割工艺主要是采用碳化硅切割刃料配合一定比例的切削液进行切片。碳化硅刃料对切割的影响至关重要。碳化硅的纯度越高,颗粒的棱角越锐利,粒径大小合适,粒度分布越窄,切割效率就越高,切出的硅片表面质量就越好。在实际应用中,常用圆形度来标示碳化硅的形貌,该值越低则切割能力越强。因此,在生产过程中,除需要严格控制原料品质外,还要对破碎、除杂、分级等工艺过程中进行优化选择,从而提高生产效率和产品质量,降低生产成本,降低能耗和减少环境污染。另外,在晶硅片的切割过程中,会产生大量的废砂浆,其主要成分包括聚乙二醇、碳化硅微粉、硅粉切屑及其他杂质,若直接丢弃,将不仅造成资源浪费,还会造成巨大的环境污染。将这些废砂浆回收,所生产的再生砂和再生液可重新用于切割,而且由于其成本和价格低廉,能够大大降低切割成本,从而推动光伏产业的发展。在碳化硅刃料和再生砂、再生液的生产上,国内大多数企业都存在着生产规模小、生产技术落后、生产效率低、产品质量不稳定等问题。河南新大新材料股份有限公司与河南大学合作,自2009年起,经过系统研究,在原有技术的基础上,自主设计了一整套碳化硅切割刃料(即新砂)的生产工艺,通过对粉碎、除铁、水力分级、脱水、烘干、精筛等工艺过程、工艺参数及生产设备的优化,生产出了切割效率高、质量稳定、圆形度低、粒径分布窄的系列碳化硅微粉产品。针对废砂浆设计了一套回收处理工艺,通过优化固液分离、碳化硅和硅粉的分离、切割液回收、碳化硅回收等工艺过程、工艺参数及生产设备,生产出了质优价廉、质量稳定的再生砂和再生液。通过项目实施,生产了20多种碳化硅新砂、再生砂和再生液产品,其中碳化硅新砂的圆形度≤0.903,粒度中值在5.5~14.0μm之间,碳化硅含量≥98.2%,铁含量≤0.15%,水分含量≤0.05%,游离碳含量≤0.15%,pH值为6~8;再生砂粒度中值在5.5~14.0μm之间,碳化硅含量≥98.2%,水分含量≤0.05%;再生液旋转粘度为40~70mPa.s,电导率≤10μs/cm,色度≤30,pH值为5.0~7.0,含水量≤0.5%,密度为1.110~1.140g/cm,折光率为1.450~1.470。所有产品各项指标均达到相关标准要求。该项目已获授权专利31项,其中发明专利1项,实用新型专利30项,通过河南省科技成果鉴定成果5项,技术水平均国内领先。项目在河南新大新材料股份有限公司及所属子公司得到了产业化应用,近三年累计实现利润达6747.5万元,在稳定和提高产品品质、降低生产成本等方面效果明显,获得了用户的一致认可,确立并巩固了公司在碳化硅刃料和再生砂、再生液行业的龙头地位,产生了良好的经济和社会效益。

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