[00311793]45—28nm配线用Ta材料规模化生产技术与品质提升
交易价格:
面议
类型:
非专利
技术成熟度:
正在研发
交易方式:
完全转让
联系人:
何丹
所在地:宁夏回族自治区银川市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
该项目完成了超高纯大尺寸钽锭的研发与制造,化学纯度、金属的杂质含量、钽靶晶粒尺寸和气体元素等达到了45—28nm工艺靶材对高纯钽的技术要求。项目实施期间,建成一条年产能35吨、满足45—28nm配线用4N5高纯钽材料中试线,实现高纯钽靶坯销售27.96吨,销售额6343.70万元,申请专利8件,制定行业标准2项,培养硕士研究生3名,靶材加工技术专家3名。