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[00309716]高端纳米压印制备图形化蓝宝石衬底的研发

交易价格: 面议

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南方科技大学

所在地:广东深圳市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

原理及技术特点 高亮度、高效率蓝光LED是LED照明光源未来的市场趋势。基于图形化蓝宝石衬底生长氮化镓外延技术是制备高效率蓝光LED的必由之路。目前蓝宝石衬底已全部由平片向图形化衬底(PSS)转变。市场上PSS技术是基于微米级别的表面结构,实现20-30%的出光效率提升。为更进一步提升出光效率,纳米级别的表面结构是下一代PSS技术的发展方向。 基于200-300纳米的表面微纳结构(光子晶体)可实现70%的出光效率,提高器件亮度80%-120%,产业化LED光效达到2001m/W。同时,衬底上外延生长可缓解应力85%,大幅度减少缺陷,改善droop效应,衰减减缓约30%。 图一:图形化蓝宝石衬底在蓝光LED器件中的应用 尽管纳米PSS技术优势明显,但其技术门槛较高,主要体现在两个方面 (1)光子晶体的设计较为复杂,特别是高出光效率的光子晶体结构设计需要用到近场光学模拟 (2)亚微米的加工制造无法使用传统的黄光工艺,加工技术难度大,成本高。 项目组成员过去十多年一直从事大面积表面微纳结构的加工研究,具备从设备开发、胶体材料制备、工艺优化的完整经验。采用卷对卷加工方式,可实现每小时图形化720片4时吋蓝宝石衬底。通过使用中间层软模板,大大减少图形化缺陷的产生。同时,项目组成员研究纳米光学结构有多年历史,熟悉光子晶体的工作原理和设计方法,能设计高效的基于光子晶体的纳米结构,实现高性能的蓝光LED器件。 应用市场 用于蓝色LED芯片生产,LED照明产业的最上游技术之一,主要客户为国内外氮化稼外延片生产厂家,市场规模在10亿美元以上。e:\k8008\qiuchengcai\桌面\成果图片\南科大成果图片\纳米\图片88.png

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