交易价格： 面议
类型： 非专利
技术成熟度： 正在研发
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 南方科技大学
所在地：广东深圳市
原理及技术特点 本项目所开发的甚高频CCP-PECVD系统，是当前最先进的PECVD技术。它采用甚高频40.68MHz替代了当前应用材料公司采用的射频13.56MHz作为驱动电源等离子体密度随着驱动电源频率的增加而提高9倍，反应气体的离化率大幅提高同时离子轰击衬底的能量显著降低，大大提高了成膜质量和成膜速率。该系统是平板式电容耦合放电的等离子体系统，处理的基片尺寸1.1m*1.3m ( 5代)和1.5m*1.85m ( 6代)两类尺寸，满足当前移动终端显示屏的成本最低的切割需求，也是高效异质结太阳能电池的关键核心设备。在平板显示ARRAY整体产线成本中，PECVD设备占近15-20%。在异质结太阳能电池的整体产线成本中则占30-35%。 应用市场 PECVD是现代微电子行业、半导体信息产业、新能源产业、新材料产业的基础性核心装备。 其水平决定了电子信息能源产品的质量。 PECVD装备，尤其是大面积PECVD装备，全球市场规模大约400亿美元
Copyright © 2018 宁夏回族自治区生产力促进中心 版权所有 宁ICP备11000235号-3 宁公网安备 64010402000776号
网站访问量： 网站在线人数：0 技术支持：科易网 
微信公众号
