[00307483]柔性场效应晶体管
交易价格:
面议
类型:
实用新型专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201620008969.8
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
江苏科技大学
所在地:江苏镇江市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本实用新型公开了一种柔性场效应晶体管,涉及半导体技术领域。所述柔性场效应晶体管包括:间隔设置在柔性衬底上且位于同一平面的源极和漏极,所述源极和漏极之间经半导体导电沟道电连接,覆盖于所述半导体导电沟道上的介电层,以及,叠设在所述介电层上的栅极。其中,所述半导体导电沟道采用碳纳米管层或氧化还原石墨烯层。本实用新型通过采用微机电系统加工技术、印刷电子技术与纳米碳材料等相结合,在柔性衬底上制备具有性能良好的场效应晶体管,其结构简单、工艺灵活、成本较低、适于大批量生产。