[00305812]多晶硅工厂副产氯硅烷高值化技术创新与应用—芯片绝缘层CVD关键材料国产化
交易价格:
面议
类型:
非专利
交易方式:
资料待完善
联系人:
宁夏科易网科技有限公司
所在地:宁夏回族自治区石嘴山市
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技术详细介绍
该项目针对我国芯片绝缘层CVD关键材料HCDS完全依赖进口的现状,充分利用项目单位在收集、利用、处置多晶硅生产中的副产氯硅烷的优势,实现了吨级芯片绝缘层CVD关键材料HCDS的国产化。项目采用多级耦合蒸馏技术,研发了新型的络合体系,解决了HCDS富集、分离、高纯化难题和六氯乙硅烷生产工艺中原料利用率低、生产周期长、收率低下等难题,实现了电子级的HCDS的吨级生产,填补国内相关技术和产品空白。项目获得宁夏回族自治区科技进步三等奖2项,获得国家级科技立项1项,已获发明专利授权7项。该项目获得2018年第七届中国创新创业大赛(宁夏赛区)成长组二等奖、全国行业总决赛优秀企业奖。