[00303040]一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710334987.4

交易方式： 完全转让

联系人：江南大学

所在地：江苏无锡市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明涉及一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法，属于化学机械抛光技术领域。其包覆型氧化硅/氧化铈复合磨粒1%～10%、氧化剂为0.1%～10%、分散剂为0.1%～10%；通过pH调节剂调节pH为2～6，得到碳化硅化学机械抛光用的抛光液。本发明操作方法简单、合理，易于生产，加入分散剂，使得抛光悬浮液分散性好，避免了磨粒的团聚现象，同时采用均相沉淀法制备包覆型氧化硅/氧化铈核壳结构复合磨粒，提高了包覆效果，加入高锰酸钾氧化剂，使得抛光液的抛光效果更加良好。

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