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[00302649]TiWCN硬质薄膜及制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201410263490.4

交易方式： 完全转让

联系人： 江苏科技大学

所在地：江苏镇江市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种TiWCN硬质薄膜及制备方法，其特征在于该薄膜是采用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上的，薄膜分子式表示为Ti(W，C，N)，厚度在1-3μm。沉积时，真空度优于3.0×10-5Pa时，以氩气起弧，氮气为反应气体进行沉积，溅射气压0.3Pa，氩氮流量比10:(1-3)。Ti靶溅射功率230-280W，W靶溅射功率为80-100W，C靶溅射功率为0-120W。所得硬质涂层综合具备了高硬度，高耐磨性的优良特点。

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