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[00298941]真空用的小型精密工件台系统

交易价格： 面议

类型： 非专利

技术成熟度： 通过小试

交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股

联系人： 中国科学院

所在地：

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

真空用的小型精密工件台系统采用压电电机驱动，高精度光栅测量系统实现在真空环境下微米级精度的运动控制。 (1)工件台移动范围：50mm×50mm；(2)光栅测量系统20nm测量分辨率；(3)水平方向上的直线度为：1μm；(4)x向与y向的垂直度3μm；(5)最大速度：250mm/s；(6)步进距离：10μm/120ms；(7)最小步进距离：20nm；(8)真空环境：1*10-3Pa。

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