[00298878]工业化硬质涂层制备装置及涂层工艺技术
交易价格:
面议
类型:
非专利
技术成熟度:
通过小试
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
中国科学院
所在地:
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本项目研制出基于HIS技术和闭合场非平衡磁控溅射方法的大功率离子镀膜装置,开发出新型纳米硬质复合薄膜制备工艺技术,可用于制备多种复合硬质涂层。技术指标①最大溅射功率4.5kW;②背底真空度£10P-5PPa;③磁控溅射靶4个;④工件对地单极性脉冲负偏压0~1kV可调;⑤溅射温度:室温~450℃可调;⑥三轴联动的工具架。涂层主要技术指标:①涂层厚度3~5微米;②涂层硬度330GPa;③涂层最高工作温度3900℃。
可大幅度提高刀刃具的表面硬度、复合韧性以及抗高温氧化等力学性能和化学性能。