[00298646]一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
通过小试
专利所属地:中国
专利号:ZL201410736742.0
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
中国石油大学(华东)
所在地:山东青岛市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种偏光棱镜胶合误差的测量装置及方法,
该装置包括照明点光源、扩束准直系统与 CCD 探测器,扩束准
直系统位于照明点光源与偏光棱镜之间,照明点光源发出的自
然光经扩束准直系统扩束准直后垂直入射到偏光棱镜,所述
CCD 探测器位于偏光棱镜反射光的出射方向,CCD 探测器与计
算机相连。该方法通过上述 CCD 探测器和计算机采集获得反射
光干涉条纹光强的分布图样,根据干涉条纹光强的分布图样得
出条纹间距,并计算得出胶合误差。本发明能够实现棱镜
胶合误差的准确测量。