[00293143]超净高纯电子化学试剂的研制(登记)

交易价格： 面议

类型： 非专利

技术成熟度： 正在研发

交易方式： 完全转让技术入股许可转让

联系人：林念文

所在地：宁夏回族自治区

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本项目通过创新的工艺，使超净高纯试剂的纯度得到提高，达到并符合IC产业市场及科研需要的标准。目前项目研究成果尚属实验室研究成果，为中间试验或扩大生产提供了可靠的技术数据。应用领域：一是用于基片在涂胶前的湿法清洗，二是用于在光刻过程中蚀刻及最终的去胶，三是用于硅片本身制作过程中的清洗。在集成电路（IC）的加工过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆表面的清洗和刻蚀，其纯度和清洗度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。本项目具有较大的社会效益和经济效益。

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