[00291704]微纳校准技术的研究(登记)
交易价格：
面议
类型：
非专利
技术成熟度：
正在研发
交易方式：
完全转让
技术入股
许可转让
联系人：
林念文
所在地：宁夏回族自治区
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
“微纳校准技术的研究”是中国计量科学研究院和黑龙江省计量科学研究院联合承担的20.0010.00年度质检公益性行业科研专项项目《计量型扫描电子显微镜的研制及微纳校准技术的研究》的子项目《微纳校准技术的研究》（项目编号：20.0010.0010.000.000.006-0.002）。 本项目完成一套新型纳米级微位移动、静态测量校准平台，利用压电陶瓷驱动器与电容传感器组成闭环微位移发生器，系统主要由上位机、控制器、压电陶瓷驱动器、电容传感器、压电陶瓷微位移机构以及A/D与D/A部分组成，可用于校准微位移传感器的静、动态特性，还可发生频率、幅值可调的振动位移量。主要技术指标为：位移灵敏度5nm、行程25μm，满量程线性度1%；满量程动态频率响应：50.000.00Hz；负载能力：50.00g。 微纳校准系统压电陶瓷驱动器设计中采用高频响多路并行驱动方法，电压放大级采用浮地设计，实现了输入的低压波形的不失真放大；功率放大级采用VMOS场效应管组成推挽式功放，实现对高压信号的跟随功能，以减小输出电阻，提高负载能力。在调幅式电容位移传感器的信号调制技术和信号解调研究中，解决了信号调制过程中抗杂散和分布电容的问题，以及信号解调过程中调幅信号的相位延迟带来的幅值解调不准确的问题，提高传感器系统的稳定性、分辨力以及频响特性等关键技术指标。 技术水平处于国际先进水平。 本装置现已在国家量仪产品质量检验中心投入使用。
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