[00289744]具有热净化功能双模块集成湿度传感器技术研究(登记)
交易价格：
面议
类型：
非专利
技术成熟度：
正在研发
交易方式：
完全转让
技术入股
许可转让
联系人：
林念文
所在地：宁夏回族自治区
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
我国气象用的湿度传感器是气象观测中的瓶颈技术，如气象探空的一项关键任务就是从地面至40.00km甚至更高空中的环境湿度检测，这个过程探空仪以6m/s的速度上升，相当于湿度传感器处于这个条件下的风速中，大气压力和环境温度随高度升高而变化，探空仪从云层钻出的一瞬间，由高湿骤降到低湿环境，湿度敏感元件就会出现表面结霜而测量失效。地面测试中，如遇到雨天、大雾天气或是在高寒区或高温地区，都会出现湿度骤变而使敏感芯片表面凝结水分现象。针对这种情况，传统的湿度传感器很难准确测量，为此，本项目采用MEMS技术与湿敏电容制作技术相结合研制出一种双模快集成加热功能的湿度传感器，在不间断地对湿度进行监测过程中可以加热除湿。 本项目研制的湿度传感器具有小型化、集成化、双模块、低成本、低功耗、多功能的特点以及具有热净化除湿特点，通过脉冲的工作形式，实现双模块交替工作。主要技术指标有： 湿度测量范围：0.00%～10.000.00%RH； 温度范围：-50.00℃～50.00℃； 湿滞：3%RH(20.00℃,10.00～90.00%RH)； 长期稳定性：±4%RH/二年； 温度系数：±0.00.2%RH/℃； 灵敏度：0.00.0.007pF/%RH； 高温稳定性：± 2%RH/24hr(40.00℃)； 存储漂移：±2%RH/年(室温环境)。
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