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[00288251]一种基于掺杂铁酸铋的阻变存储器及其制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201410316306.8

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京邮电大学

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明属于信息存储技术领域,具体公开了一种基于掺杂铁酸铋的阻变存储器及其制备方法。所述存储器由衬底、底电极、阻变存储层和顶电极组成,器件单元为三明治结构,阻变存储层位于底电极和顶电极之间,阻变存储层采用掺杂铁酸铋。具体制备方法为,首先在衬底上用磁控溅射的方法沉积金属层作为底电极,然后在金属层上生长掺杂的铁酸铋薄膜,选用自制的掺杂铁酸铋的靶材,最后用磁控溅射的方法沉积形成顶电极,这样得到基于掺杂铁酸铋的阻变存储器。该阻变存储器性能稳定,制作成本低,结构简单,制造过程简单,对设备要求不高,易于大规模制造。

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