[00288251]一种基于掺杂铁酸铋的阻变存储器及其制备方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201410316306.8
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
南京邮电大学
所在地:江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明属于信息存储技术领域,具体公开了一种基于掺杂铁酸铋的阻变存储器及其制备方法。所述存储器由衬底、底电极、阻变存储层和顶电极组成,器件单元为三明治结构,阻变存储层位于底电极和顶电极之间,阻变存储层采用掺杂铁酸铋。具体制备方法为,首先在衬底上用磁控溅射的方法沉积金属层作为底电极,然后在金属层上生长掺杂的铁酸铋薄膜,选用自制的掺杂铁酸铋的靶材,最后用磁控溅射的方法沉积形成顶电极,这样得到基于掺杂铁酸铋的阻变存储器。该阻变存储器性能稳定,制作成本低,结构简单,制造过程简单,对设备要求不高,易于大规模制造。