[00288242]基于异质键合的微型水下可见光通信双工器件及制备方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201710240402.2
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
南京邮电大学
所在地:江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种基于异质键合的微型水下可见光通信双工器件及制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片和N型掺杂硅晶片,所述硅衬底氮化物晶片包括顶层氮化物和位于顶层氮化物下部的硅衬底层,硅衬底层部分掏空,形成悬空部位,悬空部位上方的顶层氮化物和镍/金电极构成薄膜LED蓝光发光器件,N型掺杂硅晶片顶层设置有适用于蓝光波段的光电传感器件,所述N型掺杂硅晶片为本征硅晶片掺杂磷元素。本发明器件设备体积小,能够实现水下高性能高速双向可见光通信。