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[00288234]一种MOSFET结构

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710325286.4

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京邮电大学

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种MOSFET结构,属于半导体器件技术领域,包括衬底电极、衬底、沟道区、源区、漏区、源极、漏极、栅氧层和栅极,所述衬底内置的衬底区域形成表面为非平面的沟道区,且沟道区的两侧分别设置源区和漏区;所述源极和漏极分别对应设置于源区和漏区上;所述栅氧层覆盖于非平面沟道区的表面;所述栅极设置于栅氧层表面,及栅极的两端与源极和漏极均存在间隔,并且栅极的两端分别延伸于源区和漏区形成重叠。本发明采用非平面沟道MOSFET结构,可以降低漏区的电场峰值,并增加器件有效沟道长度,改善和抑制漏致势垒降低效应,抑制短沟道效应,且降低漏区的高电场,抑制热载流子的生成,提高器件稳定性。

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