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[00282447]一种铁基单晶超导微桥的制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610152652.6

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种铁基单晶超导体微桥的制备方法,在平整的铁基超导单晶表面直接光刻图形,通过氩离子束刻蚀控制样品厚度,运用翻面技术,经过解理、热蒸发金电极、光刻微桥图形和离子束刻蚀,就可以得到理想厚度的铁基超导单晶微桥样品。该制备方法简单、可操作、样品厚度可控,可缩短样品制备周期并提高样品制备成功率。通过该制备工艺制备出的样品具有厚度可控、高质量、尺寸精度高等优点。

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