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[00282408]基于快闪存储器结构的光敏可控器件

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201110397660.4

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

基于快闪存储器结构NMOSFET光敏可控器件,包括p型半导体衬底,衬底上设有n型重掺杂的源区和漏区,衬底上依次为隧穿氧化层、电荷存储层、阻挡氧化层和控制栅极,组成快闪存储器结构的NMOSFET光敏可控器件,阻挡氧化层和控制栅极为透明电极。隧穿氧化层厚度约为7nm至10nm,电荷存储层为多晶硅材料,其厚度约为100nm,阻挡氧化层为二氧化硅/氮化硅/二氧化硅三层结构,其厚度分别约为4nm/10nm/5nm,控制栅为多晶硅材料,厚度约为200nm,栅极长度约为0.16微米,宽度约为0.18微米。工作在电信号增大模式下时,首先对光敏器件进行擦除操作,使擦除后光敏器件阈值电压小于其初始阈值,也可工作在电信号减小模式。

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