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[00282406]异质结倍增层增强型AlGaN日盲雪崩光电二极管及其制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201510816440.9

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京大学

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种异质结倍增层增强型AlGaN日盲雪崩光电二极管,其结构从下至上依次为AlN模板层、AlxGa1‑xN缓冲层、n型AlxGa1‑xN层、i型AlyGa1‑yN吸收层、n型AlyGa1‑yN分离层、i型AlyGa1‑yN倍增层、i型AlzGa1‑zN倍增层、p型AlzGa1‑zN层、p型GaN层,在n型AlxGa1‑xN层上引出n型欧姆电极,在p型GaN层上引出p型欧姆电极,所述x、y、z满足0.2≤z<y<x,且y≥z+0.2。还公开了其制备方法。本发明设计的SAM结构异质结倍增层增强型AlGaN日盲雪崩光电二极管,可明显提高空穴的离化率、降低电子的碰撞离化、降低APD雪崩击穿时的器件噪声,有助于提高APD器件的整体性能。

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