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[00280248]R134a制冷剂气体传感器气敏元件的制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201010291011.1

交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股

联系人： 上海大学

所在地：上海上海市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

摘要：本发明涉及一种R134a制冷剂气体传感器气敏元件的制备方法，属金属氧化物半导体气敏元件制备工艺技术领域。本发明的传感器气敏元件主要特点是：在Al2O3陶瓷管表面涂覆有两层敏感物质材料，内层为纳米SnO2基体材料，外层为Pt掺杂的纳米多孔Al2O3增敏材料；首先将涂上的SnO2基体材料经500℃煅烧2小时后，按厚膜半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接；即包括引线铂丝的焊接及陶瓷管空腔内镍-镉加热丝的焊接；然后再将掺杂Pt的纳米多孔Al2O3增敏材料均匀涂覆在纳米SnO2基体材料上面；然后在室温下晾干，进行老化，封装，最终制得R134a制冷制气体传感器气敏元件。本发明制得的气敏元件对R134a的检测具有较高灵敏度、响应恢复时间快，稳定性好。

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