[00279990]一种溶胶凝胶法制备镓掺杂氧化锌薄膜的方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201210000263.3

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：上海大学

所在地：上海上海市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明公开了一种溶胶凝胶法制备镓掺杂氧化锌薄膜的方法，属于半导体薄膜与器件领域，首先将锌盐，硝酸镓溶于甲醇中，并逐滴加入稳定剂单乙醇胺，在磁力搅拌的情况下，60℃水浴1小时，并通过将温度升高到70℃进行溶剂蒸发，蒸发至原体积的40%时获得制备镓掺杂氧化锌薄膜的溶胶。通过提拉法制备镓掺杂的氧化锌薄膜。拉膜后将薄膜在红外灯下烘烤30min，之后进行500℃快速退火15min，完成一次拉膜，按此重复n次，使达到一定厚度，最后室温时效2天，真空600℃退火1小时，最后即得到GZO薄膜。本发明采用玻璃做衬底基板。本发明方法设备简单，成本低，污染小易于实现。

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